UHP kızılötesi teknolojisiyle fabrikanızı gerçek anlamda “akıllı” hale getirin
Eğer modern bir yarı iletken fabrikası işletiyorsanız, Ultra Yüksek Saflıkta (UHP) ısıtıcı lambaların termal enerji üretiminde ne kadar önemli olduğunu zaten biliyorsunuzdur. Ancak artık sadece ısı üretmek yeterli değil. Endüstri 4.0 çağında, ısıtıcı elemanlarının sadece ısınmaktan daha fazlasını yapması gerekiyor. Üretim sürecinizle etkileşime geçebilmeliler.
Doğru ısı seviyesini sağlama
Hızlı oldukları için kısa dalga boylu kızılötesi ışınları kullanıyoruz. Bu sayede güç düğmesine basıldığı anda hedef sıcaklığa ulaşılıyor. 300 mm’lik waferler söz konusu olduğunda, yüzeyin tamamında eşit bir ısı dağılımı olmalıdır. Bunu, özel kuvars tüplerinize uygun şekilde güç ve voltaj ayarları yaparak sağlıyoruz. Yüksek güçlü sistemler üretim hızını artırmak için harika olsa da dikkat edilmesi gereken bir nokta var: Güç kaynaklarının bu yüksek akıma dayanıklı olup olmadığını kontrol edin. Aksi takdirde her başlangıçta devre kesiciler devreye girer ve bu da istenmeyen bir durumdur.
Temizliği ve dijital kontrolü sağlama
Bir fabrikada tek bir kirlilik noktası bile büyük bir sorundur. Bu yüzden yüksek kaliteli sentetik kuvars kullanıyoruz; bu sayede gaz salınımı işlerinizi bozmaz. Ancak asıl mucize, eski analog kontrollerin yerine PID kontrol cihazları ve dijital sensörlerin kullanılmasıyla gerçekleşiyor. Böylece termal veriler doğrudan MES sistemine aktarılır. Bu sayede filamentin zamanla nasıl bozulduğunu görebilirsiniz. Lambanın süreç ortasında arızalanıp tüm üretimi bozmasını beklemek yerine, sistem çıkış değeri düştüğünde lambanın değiştirilmesi gerektiğini bildirir. Çok basit.
Gerçekler
İşte burada bir denge durumu var: Bu kızılötesi sistemler, küçük bir alanda çok büyük miktarda enerji barındırır. Bu lambaları eski bir kutuya yerleştirip işi bitirmek mümkün değildir. Radyasyonlu ısı çok yoğundur. Hava akışını ve soğutma sistemlerini yeniden hesaplamazsanız, aletler zarar görebilir. Ayrıca kabloları da unutmayın; EMI’nin sensörlerinizi bozmaması için uygun koruma önlemleri gereklidir. Eğer verileriniz bozuksa, “akıllı” sistem de pek akıllı sayılmaz.