Üretim alanında, 300 mm’lik waferler raylardan çıkıp fırın plakasının üzerine konur. Sıcaklık, sadece birkaç ondalık derece kadar değişse bile, fotoresistin yapısı bozulmaya başlar. CD’ler zarar görür. Tüm bu süreç aniden risk altına girer. İşlemin gerektirdiği yerde tam olarak istenen sıcaklığın sağlanması gerekir; hiçbir istisna olmamalıdır.
Teknik açıdan önemli olanlar Çin’de, milimetrenin alt seviyelerinde bile termal düzgünlük sağlayan kısa dalga infrared ısıtıcılar üretiyoruz. Kuvars emisör dizisi, düşük ısı kütleli seramik bir yapı üzerine yer alır; bu sayede hızlı tepki verir ve hedef sıcaklığa saniyeler içinde ulaşır. Fırın yüzeyinde ise ±0,1 °C’lik bir düzgünlük hedeflenir; tekrarlanabilirlik ise döngü başına 0,2 °C’nin altında kalır.
Bu tolerans aralığı, fotoresistin termal dengeyi korumasını sağlar. Böylece TEOS ve oksitlerin bütünlüğü korunur ve parçacık sayısının artması engellenir. 1–100 sınıfı temiz odalarla uyumluluk da sağlanmıştır: Düşük gaz salımı yapan malzemeler, mühürlü bağlantılar ve dökülmeyecek bir yüzey yapısı kullanılır.
Neden işe yarıyor? Litografi hatlarında ve kaplama/fırınlama modüllerinde işlem asla durmaz. İnfrARED ısıtıcılar, waferi hedef sıcaklıkta tutarak sıcak noktaların veya soğuk kenarların oluşmasını engeller. Böylece kritik boyut kontrolü ve yan duvar açıları belirlenen standartlarda kalır. Hızlı termal tepki süresi, fırınlama süresini kısaltır, enerji tüketimini azaltır ve verimliliği artırır – bunun yanında maksimum sıcaklık da artmaz.
Sürekli fırınlama süreçlerinde sıfır parçacık oluşumu, daha az filtre değişimi, daha az arıza ve daha yüksek verimlilik anlamına gelir. Sonuç olarak, her seferinde wafer 1 ve wafer 1000’te aynı sıcaklık profili elde edilir.
Dikkat edilmesi gerekenler Isıtıcıyı oda boyutlarına ve sabitleme sistemiyle eşleştirin. Gerilimi, konektörün yönünü ve sıcak bölgedeki mesafeyi tekrar kontrol edin. Kısa dalga infrared ısıtıcılar hız ve kontrol sağlar; ancak emisörlerin ömrü sınırlıdır. Bu yüzden 5.000 ila 8.000 saat aralığında değiştirme planlaması yapın ki beklenmedik arızalar olmasın.
En iyi düzgünlük için, sertifikalı wafer haritalarıyla kalibrasyon yapın ve emisör dizisini temiz tutun. Emisörler üzerindeki ince kuvars tabakası, termal profilin bozulmasına neden olabilir.