Wafer’inizin Temiz Kalmasını Sağlayın (Ve Zihninizi Sakinin Tutmak İçin)
Eğer 100 sınıfı bir temiz oda kullanıyorsanız, bu durumun ne kadar korkutucu olabileceğini zaten biliyorsunuzdur. Küçük bir gaz salınımı veya lambadan dökülen bir parça bile tüm üretimin boşa gitmesine neden olabilir. Wafer’leri kurutmak için reflektörler ve ısıtma lambaları tasarlarken tek amacımız var: Silikon yüzeyine hiçbir şeyin bulaşmamasını sağlamak.
Sır, Kuvars’ta Yatıyor
Bu tür lambalar için yüksek saflıkta sentetik kuvars kullanıyoruz. Neden mi? Çünkü standart camlar ısıya dayanamaz; termal şoklara maruz kaldığında kırılır. Ancak kuvars farklıdır. Kızılötesi radyasyonun geçmesine izin veren bir “şeffaf pencere” görevi görür. Böylece enerji doğrudan wafer’in üzerine yönlendirilir. Bu yöntem hem verimlidir hem de etkilidir.
“Kar Yağması” Durumunu Önleyin
Standart metalik reflektörlerin sorunu şudur: Parçalanırlar ve oksitlenirler. Zamanla parçaları dökülmeye başlar. Temiz odalarda bu durum felaket anlamına gelir. Buna “kar yağması” efekti diyoruz ve bu da kurutma işlemi sırasında kesinlikle istenmeyen bir durumdur. İşte bu yüzden yüksek saflıkta kuvars reflektörler kullanıyoruz. Bunlar kimyasal olarak inerttir; soyulacak kaplama veya paslanacak metal yoktur. Böylece temiz kalırlar.
Terk Edilen Seçenekler (Kimse Size Söylemeyen Şeyler)
Yüksek yoğunluklu kızılötesi ışınlar çok fazla ısı üretir. Kuvars bununla başa çıkabilir, ancak cihazın kendisi? O başka bir mesele. Cihazın kendisi bu ısıyı emecektir. Eğer soğutma sistemi yeterince güçlü değilse, bağlantı noktaları hasar görecektir. Eğer hava akışı yetersizse, lambanın ömrü kısalacaktır. Biz bunları mevcut ekipmanların yerine kolayca takılabilen parçalar olarak tasarladık. Sadece bağlayın, wafer’e olan mesafeyi ayarlayın ve işiniz bitti. Düzenli bir ısı dağılımı elde edersiniz ve en önemlisi, hiçbir kirlenme olmaz.