ในห้องปฏิบัติการผลิต แผ่นวีเซอร์ขนาด 300 มม. จะถูกนำออกมาจากรางแล้ววางลงบนแผ่นอบ หากร้อนที่ใช้อบมีความแตกต่างกันเพียงเล็กน้อย โครงสร้างของสารโฟโตรีซิสต์ก็จะเปลี่ยนไป ส่งผลให้แผ่นซีดีเสียหายได้ ทั้งหมดนี้จึงมีความเสี่ยงสูง ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีการควบคุมอุณหภูมิให้ตรงตามที่กำหนดไว้ในขั้นตอนการผลิต โดยไม่มีข้อยกเว้น
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราผลิตเครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดคลื่นสั้นในประเทศจีน ซึ่งช่วยให้มีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิได้ถึงระดับหลายส่วนในหน่วยมิลลิเมตร อุปกรณ์ส่งความร้อนจะอยู่บนตัวเรือนเซรามิกที่มีความหนาแน่นต่ำ ทำให้อุณหภูมิสามารถปรับเปลี่ยนได้อย่างรวดเร็ว และสามารถถึงอุณหภูมิที่กำหนดได้ภายในไม่กี่วินาที โดยไม่มีความผิดพลาด เรามุ่งเน้นให้อุณหภูมิมีความสม่ำเสมอในระดับ ±0.1 องศาเซลเซียส และความสม่ำเสมอระหว่างการอบแต่ละครั้งอยู่ที่ไม่เกิน 0.2 องศาเซลเซียส
ความสม่ำเสมอนี้ช่วยให้การอบมีประสิทธิภาพมากขึ้น และช่วยรักษาความสมบูรณ์ของสารโฟโตรีซิสต์ไว้ นอกจากนี้ยังช่วยลดจำนวนอนุภาคที่เกิดขึ้นได้อีกด้วย อุปกรณ์นี้ยังสามารถใช้งานได้ในห้องปฏิบัติการที่มีมาตรฐาน Class 1–100 ได้อีกด้วย เนื่องจากมีวัสดุที่ไม่ปล่อยก๊าซออกมา มีการเชื่อมต่อที่แน่นหนา และมีพื้นผิวที่ไม่เกิดการแตกหัก
เหตุผลที่อุปกรณ์นี้มีประสิทธิภาพ ในขั้นตอนการผลิต อุปกรณ์ทำความร้อนแบบอินฟราเรดคลื่นสั้นช่วยให้แผ่นวีเซอร์มีอุณหภูมิที่สม่ำเสมอ โดยไม่มีจุดร้อนหรือจุดเย็น ทำให้สามารถควบคุมขนาดของแผ่นวีเซอร์ได้อย่างแม่นยำ นอกจากนี้ การตอบสนองทางอุณหภูมิที่รวดเร็วยังช่วยลดเวลาในการอบ ลดการใช้พลังงาน และเพิ่มประสิทธิภาพในการผลิต โดยไม่ต้องเพิ่มอุณหภูมิสูงเกินไป
การไม่มีอนุภาคเกิดขึ้นระหว่างการอบ ช่วยให้ไม่ต้องเปลี่ยนตัวกรองบ่อย ลดการหยุดการผลิต และเพิ่มประสิทธิภาพในการผลิต ผลลัพธ์คือความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่แม่นยำ ไม่ว่าจะเป็นแผ่นวีเซอร์ชิ้นแรกหรือชิ้นที่ 1000 ก็ตาม
สิ่งที่ควรคำนึงถึง ควรเลือกอุปกรณ์ทำความร้อนให้เหมาะสมกับขนาดของห้องปฏิบัติการและระบบการยึดแผ่นวีเซอร์ ควรตรวจสอบแรงดันไฟฟ้า การเชื่อมต่อ และระยะห่างในบริเวณที่มีอุณหภูมิสูงอย่างละเอียด อุปกรณ์ทำความร้อนแบบอินฟราเรดคลื่นสั้นช่วยให้มีความเร็วและความแม่นยำ แต่อายุการใช้งานของอุปกรณ์นี้มีจำกัด ดังนั้นควรวางแผนการเปลี่ยนอุปกรณ์ทุกๆ 5,000 ถึง 8,000 ชั่วโมง เพื่อหลีกเลี่ยงการหยุดการผลิต
เพื่อให้ได้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่ดีที่สุด ควรใช้แผ่นวีเซอร์ที่ได้รับการตรวจสอบมาตรฐานในการปรับแต่งอุปกรณ์ และควรรักษาความสะอาดของอุปกรณ์ส่งความร้อนไว้ หากมีฟิล์มบางๆ บนอุปกรณ์ส่งความร้อน ก็อาจทำให้อุณหภูมิเปลี่ยนแปลงได้