บนชั้นลิธอกราฟี การอบอ่อนที่แตกต่างแม้เพียง 2°C ก็ส่งผลกระทบต่อการจัดสรรความร้อนของฟิล์มฟอตอรีซิสต์ การเก็บตัวทำละลายเพิ่มสูงขึ้น ความสม่ำเสมอของ CD ถูกทำลาย ความแตกต่างนี้คือเส้นแบ่งระหว่างล็อตที่ดีและเศษวัสดุ เราได้สร้างโมดูลการอบอ่อนด้วยอินฟราเรดเพื่อกำจัดความแปรปรวนนี้ออกไป
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค อีมิเตอร์ IR ใช้ควอตซ์คลื่นสั้น ทำให้พื้นผิวเวเฟอร์ร้อนขึ้นโดยตรง—ไม่มีการสัมผัส การควบคุมอุณหภูมิรักษาในช่วง ±0.1°C ทั่วทั้งเวเฟอร์ และความสามารถในการทำซ้ำอยู่ในช่วง ±0.2°C ระหว่างล็อต โปรไฟล์มีความรวดเร็ว: 15 วินาทีในการปรับสภาพ ทำให้คุณลดเวลาในการอบโดยไม่เกิดการเกินอุณหภูมิ
ห้องสะอาดชั้น 1–100 ได้รับการสนับสนุนจากการออกแบบที่ควบคุมอนุภาคซึ่งทำให้การสร้างอนุภาคต่ำกว่า 0.1 อนุภาค/cm² คุณจะได้รับการผลิตความร้อนในปริมาณมากสำหรับการใช้พลังงาน และโมดูลเข้ากับขนาดมาตรฐานของรางได้อย่างเชื่อถือได้ตลอด 24 ชั่วโมง
ทำไมมันถึงทำงานในที่ที่คุณใช้งาน คุณทำงานกับโหนดผสมและฟิล์มบาง และการอบอ่อนเตรียมความพร้อมสำหรับการเปิดรับแสงและประสิทธิภาพการตรวจสอบข้อบกพร่อง ความสม่ำเสมอของความร้อนที่เข้มงวดช่วยลดการสร้างพื้นฐานและคราบ ช่วยปรับปรุงการควบคุมมิติที่สำคัญและลดการทำงานซ้ำ รอบการอบที่รวดเร็วช่วยลดเวลาในการผลิตและรักษาอัตราการผลิตให้คงที่ในระหว่างการเปลี่ยนล็อต
การมีการเบี่ยงเบนที่เกี่ยวกับการอบน้อยลงหมายถึงเวลาที่น้อยลงในการติดตามพารามิเตอร์และเวลาที่มากขึ้นในการจัดส่งเวเฟอร์ที่ดี
สิ่งที่ควรรู้ การติดตั้งเป็นเรื่องง่ายในรางส่วนใหญ่ แต่เส้นทาง IR ต้องการการมองเห็นตรงและหน้าต่างควอตซ์ที่สะอาด ฟิล์มหรือสิ่งตกค้างใดๆ จะกระจายพลังงานและทำให้โปรไฟล์เบี่ยงเบน โมดูลยังต้องการแหล่งพลังงานที่เสถียรและการระบายความร้อนที่ตรงกับกรอบ HVAC ของห้องสะอาด
คาดว่าจะมีการรันการเริ่มต้นที่สั้นเพื่อปรับจุดตั้งค่าให้ตรงกับสแต็คของฟิล์มฟอตอรีซิสต์ของคุณ เมื่อเสร็จสิ้นกระบวนการจะอยู่ภายใต้การควบคุม