บนชั้นลิโธกราฟี การอบแบบนุ่มที่มีการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิแค่ครึ่งองศาก็เพียงพอที่จะทำให้การควบคุมมิติที่สำคัญผิดพลาดได้ เส้นการผลิตหยุดลง แผ่นเวเฟอร์ถูกทิ้ง เราจึงพัฒนาระบบโคมไฟอินฟราเรดคาร์บอนไฟเบอร์เพื่อป้องกันไม่ให้เกิดเหตุการณ์ดังกล่าว—โดยการล็อกอุณหภูมิให้อยู่ที่ค่าที่กระบวนการต้องการอย่างแม่นยำในแต่ละกะงาน
สิ่งที่สำคัญในเชิงเทคนิค
อุปกรณ์ปล่อยอินฟราเรดคาร์บอนไฟเบอร์ให้ความร้อนที่รวดเร็วและเสถียร ด้วยการตอบสนองที่ไวและมวลความร้อนต่ำ คุณจะได้ความสม่ำเสมอระดับเวเฟอร์อยู่ในช่วง ±0.1°C ตลอดพื้นผิวการอบ ทำให้อบแบบนุ่มและอบแบบแข็งอยู่ภายในงบประมาณความร้อน วัสดุที่ใช้เหมาะกับคลีนรูมระดับ Class 1–100 โดยไม่ใช่แค่เรื่องรอง เช่น วัสดุที่ปล่อยก๊าซต่ำ ตัวเรือนปิดสนิท และเส้นทางการแพร่ของอนุภาคที่ปราศจากฝุ่น ช่วยปกป้องผลผลิตบนแผ่นเวเฟอร์ ไม่ใช่ในอากาศ ความสม่ำเสมอของการปล่อยแสงยังคงคงที่ตลอด 24 ชั่วโมง พร้อมข้อมูลอายุการใช้งานที่รองรับการทำงานเกิน 5,000 ชั่วโมงก่อนที่กำลังไฟจะลดลงเกิน 5%
ทำไมจึงใช้งานได้จริง
ในกระบวนการผลิตและบรรจุแผ่นเวเฟอร์ วัฏจักรความร้อนถูกกำหนดไว้ตายตัว—ไม่สามารถต่อรองได้ โคมไฟนี้ตอบสนองทันกับสปินแทร็คและโมดูลเคลือบ/อบ ลดเวลาการอบโดยไม่เสียการควบคุมโปรไฟล์ ความสม่ำเสมอที่เข้มงวดช่วยลดจำนวนล็อตที่ต้องทำงานซ้ำและลดความคลาดเคลื่อนที่เกิดจากอุณหภูมิที่เปลี่ยนแปลง การใช้พลังงานลดลงเนื่องจากระบบให้ความร้อนเร็ว รักษาจุดตั้งค่าให้คงที่ และหลีกเลี่ยงการเกินค่า สำหรับวิศวกรอุปกรณ์และผู้ซื้อ ผลลัพธ์คือเวลาทำงานสูงขึ้น ต้นทุนต่อแผ่นเวเฟอร์ต่ำลง และจำนวนอะไหล่สำรองในคลังลดลง
รายละเอียดที่ช่วยให้ระบบทำงานได้อย่างแม่นยำ
การติดตั้งทำได้ง่ายบนโครงมาตรฐาน แต่ต้องตรวจสอบการจัดแนวและมุมมองของโคมไฟในแต่ละห้องอบ การทับซ้อนของแสงทำให้เกิดจุดร้อน และช่องว่างทำให้เกิดขอบเย็น ควบคุมแรงดันไฟฟ้าให้อยู่ในช่วงที่ระบุไว้ และรักษาความสะอาดของหน้าต่างปล่อยแสงด้วยการระบายอากาศที่เหมาะสม ฝุ่นบนหน้าต่างจะส่งผลต่อความสม่ำเสมอ ปฏิบัติต่ออุปกรณ์นี้เหมือนเครื่องมือความร้อนที่สำคัญ: วางแผนการตรวจสอบการสอบเทียบเป็นประจำ