На этапе литографии даже небольшое количество влаги на поверхности может сказаться на качестве обработки пленки. Тогда теряется контроль над толщиной фотополимерной пленки и качеством изготовления DVD/CD-дисков ещё до начала процесса обработки. Горячие пластины могут не справиться с задачей быстрого удаления влаги без повреждения задней поверхности пластины, что приводит к искажению формы изображения. Мы разработали устройство для удаления влаги с поверхности пластин – оно обеспечивает сушку только передней поверхности пластины, делает процесс быстрым и не влияет на температурный режим пластины.
В устройстве используются галогеновые элементы с короткими волнами, расположенные в кварцевом корпусе. Это позволяет эффективно и контролируемо выделять энергию. На обрабатываемой поверхности достигается однородность температуры в пределах ±0,1°C, а точность настройки остается высокой – в рамках нескольких градусов. Такая стабильность гарантирует, что параметры обработки не меняются от партии к партии.
Устройство может работать в чистых комнатах класса 1–100, не увеличивая количества частиц в воздухе. Благодаря компактной конструкции снижается тепловая задержка при смене режимов работы.
В повседневной эксплуатации пластины поступают в устройство для сушки, количество дефектов, связанных с влагой, снижается, а параметры фотополимерной пленки становятся более стабильными. Время обработки сокращается, так как удаление влаги происходит за секунды, а потребление энергии остается низким по сравнению с устройствами для полной сушки пластин. Устройство обеспечивает высокую надежность: оно может работать более 5000 часов с перегрузкой менее 5%, что позволяет ему работать круглосуточно без перерывов.
Установка устройства проста, но важно правильно настроить его работу. Лампа должна освещать только переднюю поверхность пластины, а угол ее освещения должен соответствовать размерам пластины, чтобы не перегревать его края. Потребуется некоторое время на настройку времени работы лампы и интенсивности ее свечения, чтобы она работала в соответствии с процедурой обработки.
Результат очевиден: фотополимерная пленка ведет себя предсказуемо, контроль качества DVD/CD-дисков остается точным, и не возникает проблем из-за влаги, попавшей на пластину в неподходящий момент.