Почему мы переходим от использования горячего воздуха к инфракрасному нагреву при обработке полуфабрикатов
Если вы когда-либо имели дело с циркуляцией горячего воздуха, то знаете, как это работает: воздух нагревается, а затем ожидается, что этот нагретый воздух сможет нагреть деталь. В процессе производства полупроводников этот «посредник» — воздух — становится причиной значительных потерь времени.
Это особенно заметно в процессах высыхания и сушки. Приходится ждать, пока температура повысится, а пока вы ждете, производительность снижается. Это очень раздражает.
Проблема заключается в задержке в процессе нагрева. Инфракрасный нагрев избавляет нас от необходимости использования воздуха в качестве посредника. Вместо того чтобы ждать, пока камера нагреется, инфракрасные лучи передают энергию напрямую в материал. Это происходит мгновенно. Не нужно ждать, пока всё помещение нагреется; энергия поступает прямо в материал.
Разница в скорости нагрева просто огромная.
Но нельзя просто прикрепить инфракрасную лампу к конвейеру и считать, что всё готово. Корпус должен быть сделан с максимальной точностью. Мы используем высококачественную нержавеющую сталь — иначе любой другой материал будет деформироваться или окисляться под таким температурным воздействием.
Корпус выполняет важную функцию: он служит рефлектором и фундаментом всей установки. Точность выполнения элементов корпуса крайне важна. Если геометрия нарушена даже на несколько миллиметров, возникают «горячие точки». Мы очень придаем значение этим параметрам, ведь инфракрасные лучи должны попадать на пластину именно туда, куда нужно.
Но есть и недостаток: инфракрасный нагрев быстр, но требует четкой линии видимости. Горячий воздух хорош тем, что может нагревать всё вокруг, но инфракрасные лучи работают только в том случае, если свет может достигнуть объекта.
Если вы работаете с сложными 3D-деталями, одной лампы будет недостаточно. В таком случае возникают «холодные точки». Чтобы этого избежать, мы используем несколько нагревателей или заставляем деталь вращаться, чтобы каждая ее часть получала тепло.
Но самое большое преимущество — это экономия пространства. Можно отказаться от огромных и громоздких печей и заменить их компактными нагревательными модулями. Это сокращает площадь, занимаемую оборудованием, сокращает время обработки и позволяет избежать лишних расходов на нагрев воздуха вокруг деталей.