Mantendo sua superfície de sílica limpa (e sua mente sã)
Se você opera uma sala limpa de classe 100, certamente conhece esse pesadelo. Uma pequena quantidade de gás liberado ou uma partícula solta vinda de uma lâmpada pode arruinar todo o lote de produtos que está sendo processado. Quando projetamos refletores e lâmpadas de aquecimento para a cura de wafers, nosso objetivo é garantir que nada chegue à superfície do silício.
O segredo está no quartzo
Usamos quartzo sintético de alta pureza para essas lâmpadas. Por quê? Porque o vidro comum não consegue suportar o calor. Ele se quebra devido ao choque térmico. Mas o quartzo é diferente. Ele funciona como uma espécie de “janela” para os raios infravermelhos, permitindo que a radiação passe por ele sem ser absorvida. Para direcionar o calor exatamente onde é necessário, combinamos a lâmpada com um refletor de quartzo feito com precisão. Assim, a energia é devolvida diretamente à superfície da wafer. É eficiente e preciso.
Evite o “efeito neve”
Os refletores metálicos comuns tendem a se desgastar com o tempo. Eles se oxidam e começam a se desfazer. Em uma sala limpa, isso é um desastre. Chamamos isso de “efeito neve”. É algo que você definitivamente não quer durante o processo de cura. É por isso que usamos refletores de quartzo de alta pureza. Eles são quimicamente inertes. Não há revestimentos que possam se soltar, nem metais que possam enferrujar. Eles permanecem sempre limpos.
As compensações (coisas que ninguém conta para você)
A cura por infravermelho de alta intensidade gera uma grande quantidade de calor. O quartzo consegue suportar isso, mas e o chassi da lâmpada? Isso é outro problema. O chassi vai absorver toda essa energia térmica. Se o sistema de resfriamento não for suficientemente eficaz, os conectores da lâmpada vão se danificar. Se o fluxo de ar for insuficiente, a vida útil da lâmpada será reduzida. Projetamos esses refletores para serem substitutos fáceis dos modelos que você já utiliza. Basta conectá-los, ajustar a distância em relação à wafer, e pronto. Você terá um perfil térmico constante e, o mais importante, zero contaminação.