Na linii produkcyjnej efektywność zależy od temperatury. Nawet niewielka różnica temperatury 0,5°C w grzałce typu MOCVD podczas procesu epitaksji GaN skutkuje nierównomiernością grubości warstw, marnowaniem płytek oraz nieosiągnięciem zamierzonych parametrów procesu. Stworzyliśmy naszą grzałkę typu MOCVD do zastosowań w technologii GaN, aby wyeliminować tę zmiennościę.
Co jest istotne w tym urządzeniu
Jego rdzeniem jest krótkofalowe promieniowanie podczerwone, co umożliwia precyzyjną kontrolę pola termicznego na poziomie submilimetrowym. Dzięki temu uzyskujemy jednorodność temperatury na całej powierzchni susceptoru na poziomie ±0,1°C, a także możliwość powtarzalnych procesów produkcyjnych. Reakcja urządzenia na zmiany temperatury jest szybka, więc nie dochodzi do przekroczeń ustalonych wartości. Profil temperatury zachowuje się stabilnie nawet po konserwacji, zmianie narzędzi czy zmianach w przepływie powietrza w pomieszczeniach o czystości klasy 1–100. Urządzenie charakteryzuje się brakiem wytwarzania cząstek i stabilną wydajnością nawet po 5 000 godzinach pracy.
Dlaczego jest to ważne w technologii GaN MOCVD
W technologii GaN MOCVD stabilność temperatury ma kluczowe znaczenie dla jakości warstw i gęstości defektów. Jeśli utrzymamy stałą temperaturę w obszarze grzania, możemy osiągnąć ustalone wartości, zmniejszyć ilość materiału zużytego i skrócić czas realizacji procesów produkcyjnych. Ta sama precyzja sprawdza się również podczas procesów utwardzania fotopolimeru – dzięki temu uzyskujemy lepszą kontrolę nad wymiarami elementów produktu i mniej problemów z ich krawędziami. Ponadto, ponieważ system potrafi precyzyjnie utrzymać wymaganą temperaturę, zużywamy mniej energii.
Praktyczne aspekty
Instalacja polega na prawidłowym ustawieniu urządzenia względem innych elementów linii produkcyjnej oraz na precyzyjnym ustawieniu kwarcowego okna. Nawet niewielka odchylenie o kilka dziesiątych milimetra może doprowadzić do zmian temperatury w obszarze grzania. Konieczne jest używanie specjalnego źródła zasilania z dobrze przygotowanym groundiem, aby uniknąć zakłóceń elektromagnetycznych. Każda zmiana elementów kwarcowych wymaga szybkiej kalibracji, ale po jej dokonaniu profil temperatury pozostaje stabilny.