Zorg dat je wafer schoon blijft tijdens het drogen (en dat je geest gezond blijft)
Als je een cleanroom van klasse 100 hebt, ken je vast al de problemen die hierbij kunnen optreden. Eén klein beetje uitgasen of één losse deeltje dat van een lamp afvalt, en al je producten zijn verloren. Wanneer we reflectoren en verhittingslampen ontwerpen voor het drogen van wafers, hebben we één doel voor ogen: ervoor zorgen dat er absoluut niets op het siliciumoppervlak terechtkomt.
Het geheim zit in kwarts
Voor deze lampen gebruiken we synthetisch kwarts van hoge zuiverheid. Waarom? Omdat gewone glas niet bestand is tegen de hoge temperaturen. Het zal barsten onder thermische schokken.
Quarts daarentegen is anders. Het fungeert als een transparant raam voor de infraroodemitter, zodat de kortegolfradiatie rechtstreeks door kan gaan, zonder opgenomen te worden. Om de warmte precies waar nodig te krijgen, gebruiken we een nauwkeurig vormgegeven kwartsreflector. Hierdoor wordt de energie rechtstreeks teruggekaatst naar de wafer. Het is efficiënt en effectief.
Vermijd het “sneeuweffect”
Standaard metalen reflectoren vervagen na verloop van tijd. Ze oxideren en beginnen uiteindelijk stukjes af te vallen. In een cleanroom is dat een ramp. We noemen dit het “sneeuweffect”. Dit is wel het laatste wat je wilt tijdens het droogproces. Daarom gebruiken we kwartsreflectoren van hoge zuiverheid. Ze zijn chemisch inert: er zijn geen lagen die kunnen lossen en geen metalen die kunnen roesten. Ze blijven dus schoon.
De nadelen (dingen die niemand je vertelt)
Hoger intensieve infraroodstraling genereert veel warmte. Kwarts kan dit natuurlijk aan, maar je behuizing? Dat is weer een ander verhaal. Je behuizing zal al die warmte opnemen. Als je koelsysteem niet sterk genoeg is om de warmte weg te halen, zullen je connectors beschadigen. Simpel gezegd: als de luchtcirculatie te zwak is, verkort je de levensduur van je lamp.
We hebben deze lampen ontworpen als gemakkelijke vervangingen voor de lampen die je al gebruikt. Je hoeft ze alleen maar aan te sluiten en de afstand tot de wafer in te stellen. Dan heb je een stabiel temperatuurregime – en, nog belangrijker, geen vervuiling.