Mengapa Kita Berpaling Daripada Penggunaan Udara Terpaksa kepada Sistem Pemanasan IR
Fikirkan bagaimana cara kerja udara terpaksa. Sebenarnya, kita memanaskan udara terlebih dahulu, dan berharap udara tersebut dapat membawa tenaga tersebut ke permukaan wafer atau substrat yang ingin dipanaskan. Masalahnya ialah proses ini sangat lambat. Dalam dunia pemprosesan semikonduktor, kelewatan ini merupakan pembaziran masa.
Itulah sebabnya kita menggunakan pengeluar haba jenis inframerah (IR). Daripada menggunakan udara sebagai pengantara, IR menghantar tenaga secara langsung ke permukaan yang ingin dipanaskan. Tenaga tersebut sampai dengan serta-merta, tanpa perlu ada pengantara atau masa menunggu.
Rahsia untuk Mengelakkan Kerosakan
Masalahnya ialah pengeluar haba IR menjadi sangat panas. Titik di mana kabel elektrik masuk ke dalam tiub kuarsa biasanya menjadi tempat berlakunya kerosakan. Untuk mengelakkan hal ini, kita menggunakan penutup seramik untuk mengurangkan tekanan haba. Seramik sangat sesuai kerana ia tidak cair atau bengkok walaupun suhu sangat tinggi. Ia juga memastikan filamen tetap berada di posisi yang tepat. Jika penutup ini bergerak sedikit saja, filamen akan rosak, dan akibatnya komponen tersebut akan terbakar. Kita memilih penutup khusus agar sambungan elektrik tetap terlindung dari tekanan haba, walaupun pada suhu yang sangat tinggi.
Menghilangkan Masa Menunggu
Dengan penggunaan udara terpaksa, kita perlu menunggu sehingga bilik pemprosesan mencapai suhu yang diinginkan. Ini memakan masa. Sebaliknya, pengeluar haba IR dapat memanaskan objek yang ingin dipanaskan dalam masa beberapa saat sahaja. Perbezaan masa tindak balas ini membolehkan proses pemprosesan berjalan lebih cepat.
Selain itu, susunan peralatan juga menjadi lebih ringkas. Kita tidak perlu menggunakan pam udara yang besar atau saluran paip yang kompleks. Cukup sekadar pastikan ada laluan yang jelas dari pengeluar haba ke permukaan yang ingin dipanaskan. Sangat mudah.
Kekurangan Penggunaan IR
Walaupun IR berfungsi dengan cepat, ia mempunyai batasan tertentu. Berbeza dengan udara panas yang dapat memanaskan permukaan objek secara menyeluruh, IR hanya dapat memanaskan permukaan tertentu sahaja. Jika ada benda yang menghalang laluan cahaya IR, kawasan tersebut akan tetap sejuk.
Jika bentuk objek yang ingin dipanaskan agak rumit, kita perlu menggunakan beberapa pengeluar haba supaya haba dapat disebarkan secara merata. Ini menjadikan sistem kabel dan kawalan kuasa menjadi lebih kompleks, tetapi itulah harga yang harus dibayar untuk mendapatkan kelajuan yang tinggi.