Mempertahankan Kebersihan Permukaan Wafer Selama Proses Pemanasan
Jika Anda mengelola ruang bersih kelas 100, Anda pasti tahu betapa berbahayanya situasinya. Sedikit saja gas yang keluar dari lampu atau partikel kecil yang terlepas dari lampu tersebut, maka seluruh produk yang diproses akan rusak. Saat merancang reflektor dan lampu pemanas untuk proses pemanasan wafer, tujuan utamanya adalah memastikan bahwa tidak ada benda apa pun yang menempel pada permukaan silikon tersebut.
Rahasia Ada di Kuartz
Kami menggunakan kuartz sintetis berkualitas tinggi untuk lampu-lampu ini. Mengapa? Karena kaca biasa tidak mampu bertahan terhadap panas yang tinggi; kaca tersebut akan retak akibat shock termal. Namun, kuartz berbeda. Kuartz berfungsi sebagai “jendela transparan” bagi radiasi inframerah, sehingga radiasi tersebut dapat melewati kuartz tanpa diserap. Untuk memastikan panas sampai ke tempat yang tepat, kami menggunakan reflektor kuartz yang dibuat dengan presisi tinggi. Dengan cara ini, energi panas tidak akan tersia-sia, melainkan langsung dipantulkan kembali ke wafer. Cara ini efisien dan efektif.
Hindari Efek “Salju”
Masalahnya adalah reflektor logam biasa akan mengalami pengoksidasi seiring waktu, sehingga partikel-partikel kecilnya akan terlepas. Di ruang bersih, hal ini merupakan bencana. Kami menyebutnya efek “salju”. Ini merupakan hal yang sangat tidak diinginkan selama proses pemanasan. Itulah mengapa kami menggunakan reflektor kuartz berkualitas tinggi. Reflektor ini bersifat kimia inert, sehingga tidak ada lapisan yang bisa terkelupas atau logam yang bisa berkarat. Dengan demikian, permukaan reflektor tetap bersih.
Kompromi yang Harus Diterima
Proses pemanasan menggunakan inframerah intensif menghasilkan banyak sekali panas. Kuartz memang mampu menahan panas tersebut, tetapi bagaimana dengan komponen lainnya? Komponen-komponen tersebut akan menyerap semua energi panas tersebut. Jika sistem pendinginan tidak cukup kuat untuk menghilangkan panas tersebut, maka koneksi antar komponen akan rusak. Jika aliran udara terlalu rendah, maka umur lampu akan berkurang secara drastis. Kami merancang komponen-komponen ini agar mudah diganti dengan komponen yang sudah ada. Cukup hubungkan kabelnya, atur jaraknya ke wafer, dan selesai. Dengan begitu, Anda akan mendapatkan profil termal yang stabil, dan yang lebih penting lagi, tidak akan ada kontaminasi sama sekali.