Mengapa Kita beralih dari penggunaan udara panas ke sistem pemanasan inframerah dalam proses manufaktur semikonduktor
Jika Anda pernah berurusan dengan sistem sirkulasi udara panas, tentu Anda tahu bagaimana cara kerjanya. Udara dipanaskan terlebih dahulu, lalu diharapkan udara tersebut dapat memanaskan komponen yang akan diproses. Dalam dunia proses manufaktur semikonduktor, udara ini justru menjadi penghambat utama dalam proses produksi.
Hal ini sangat terlihat jelas saat proses pengeringan atau penyembuhan komponen. Kita harus menunggu hingga suhu ruangan mencapai tingkat yang diinginkan. Sementara itu, proses produksi pun terhenti. Sungguh menyebalkan.
Masalahnya adalah waktu yang dibutuhkan untuk proses pemanasan.
Sistem pemanasan inframerah menghilangkan peran “perantara” tersebut. Alih-alih menunggu ruangan menjadi panas, energi dikirim langsung ke permukaan komponen melalui radiasi elektromagnetik. Prosesnya instan. Kita tidak perlu menunggu ruangan menjadi hangat; energi langsung diberikan ke komponen tersebut.
Perbedaannya sangat signifikan.
Namun, kita tidak bisa sekadar meletakkan lampu inframerah di atas konveyor saja. Kerangka penyangga lampu tersebut harus dirancang dengan sangat presisi. Kami menggunakan baja tahan karat berkualitas tinggi, karena bahan lain akan rusak atau beroksidasi akibat panas yang tinggi.
Kerangka penyangga inilah yang memegang peran penting—sebagai reflektor dan struktur dasar dari seluruh sistem pemanasan. Presisi sangatlah penting. Jika geometri kerangka tersebut salah, maka akan muncul titik-titik panas yang tidak diinginkan. Kami sangat memperhatikan toleransi tersebut, karena gelombang inframerah perlu mengenai permukaan wafer tepat di tempat yang seharusnya.
Tapi ada satu kelemahan: sistem pemanasan inframerah memang cepat, tetapi ia membutuhkan visibilitas yang baik agar energi dapat sampai ke targetnya. Udara panas bagus karena dapat memanaskan segala permukaan, tetapi inframerah hanya berfungsi jika cahayanya dapat mengenai permukaan yang dipanaskan.
Jika Anda bekerja dengan komponen 3D yang rumit, satu lampu saja tidak akan cukup. Akibatnya, akan muncul titik-titik dingin. Untuk mengatasi hal ini, kita perlu menggunakan beberapa lampu pemanas atau membuat komponen berputar sehingga setiap sisinya dapat dipanaskan secara merata.
Yang paling menyenangkan adalah penghematan ruang yang diperlukan. Kita bisa mengganti oven-oven besar dan berat tersebut dengan modul pemanasan yang lebih kompak. Dengan demikian, luas area yang dibutuhkan berkurang, waktu proses menjadi lebih singkat, dan penggunaan listrik juga berkurang.