תפסיקו להילחם באוזון במפעל שלכם
בואו נהיה כנים: ניקוי השאריות שנוצרות מהציוד שלכם הוא החלק הקשה ביותר בעבודה.
בייצור שבבים, כולנו שואפים להגיע לרמת פליטות אפס. אך אם אתם משתמשים בנורות IR רגילות או בתנורי חימום רגילים, כנראה ששמתם לב לבעיה מעצבנת – אותן נורות פולטות אור בטווח 185-254 ננומטר, מה שגורם לאוויר בחדר הנקי להפוך למעין “מפעל אוזון”.
אוזון הוא סיוט – הוא פוגע ברכיבים האלקטרוניים שלכם, וגורם למערכות הטיהור שלכם לעבוד יותר מדי כדי לשמור על אוויר נקי. זו מלחמה בלתי פוסקת.
הריסת האוזון במקורו
החלטנו לא לטפל רק בתסמינים, אלא לפתור את הבעיה מהשורש.
על ידי שימוש במסנני קוורץ מיוחדים ושליטה קפדנית בטמפרטורת החוט, אנו משנים את טווח הפליטה. בעצם, אנו מבטלים לחלוטין את הפליטה בטווח ה-VUV.
התוצאה? אתם עדיין מקבלים את כל החום הדרוש לייבוש חומרים או חומרי ציפוי, אך אין יותר את התוצרים הכימיים המזיקים. זו תהליך נקי יותר, מכיוון שהוא תוכנן כך מההתחלה, ולא רק בגלל שהוספו מסננים יקרים בסוף התהליך.
חום בדיוק במקום שצריך אותו
חימום על ידי תנועת אוויר הוא כמו לנסות לחמם גרגיר שעועית בודד על ידי חימום כל המטבח – זו בזבוז אנרגיה.
נורות ה-IR שלנו שונות – הן פוגעות ישירות בחומר שעליו הן פועלות. זה מהיר מאוד. וזה אומר שתחנת הייבוש שלכם יכולה להיות קטנה יותר.
יש עוד דבר אחד שצריך לשים לב אליו: נורות IR בעלות עוצמה גבוהה הן חזקות מאוד. אם החומר שעליו הן פועלות דק מדי, הוא עלול להתעוות אם לא נוקטים בזהירות. כדאי להשקיע קצת זמן בהגדרת מהירות ההעברה של החומר ומרחק הנורה, כדי לוודא שאתם מקבלים את התוצאה הרצויה מבלי לפגוע בחומר.
החיבור לחשמל
החלק הטוב ביותר? אלו הן חלפים שניתן להחליף אותם בקלות. אין צורך לשנות את החיבורים בכל המפעל – הן פועלות על החשמל התעשייתי הקיים.
ומכיוון שאין יותר בעיות עם אוזון, אין צורך שמארזי הנורות יהיו עשויים מחומרים כבדים ועמידים בפני קורוזיה. זה חוסך לכם הרבה כסף לאורך זמן.
רק עשו לי טובה: בדקו את יישור המחזיר של הנורה אחת לשישה חודשים. זה לוקח רק דקה אחת, וזה מבטיח שהחום יהיה אחיד על כל שטח הוואפר.