Rendre votre usine de semi-conducteurs vraiment “intelligente” grâce aux lampes infrarouges à ultra-haute pureté
Si vous gérez une usine de semi-conducteurs moderne, vous savez déjà que les lampes chauffantes à ultra-haute pureté sont essentielles pour fournir de l’énergie thermique. Mais voilà : il ne suffit plus seulement d’avoir de la chaleur. Avec l’avènement de l’Industrie 4.0, vos éléments chauffants doivent faire bien plus que simplement devenir chauds. Ils doivent en fait interagir avec votre processus de production.
Obtenir une chaleur optimale
Nous utilisons des ondes infrarouges à courte longueur d’onde, car elles permettent une transmission rapide de la chaleur. Cela élimine ce temps d’attente désagréable entre l’allumage de la lampe et atteinte de la température souhaitée.
Lorsque vous travaillez avec des wafers de 300 mm, il est impératif que la chaleur soit uniformément répartie sur toute la surface du wafer. Nous y parvenons en ajustant la puissance et la tension en fonction du type de tube en quartz utilisé. Les systèmes à haute puissance sont utiles pour augmenter la productivité, mais il faut faire attention : vérifiez bien que vos sources d’alimentation peuvent supporter le courant de démarrage. Sinon, vous risquez de faire sauter les disjoncteurs à chaque démarrage. Et personne ne veut ça.
Maintenir un environnement propre et numérique
Dans une usine de semi-conducteurs, même une petite trace de contamination peut être un véritable problème. C’est pourquoi nous utilisons du quartz synthétique de haute qualité : cela empêche toute dégazation qui pourrait endommager vos produits.
Mais c’est vraiment la combinaison de ces lampes avec des contrôleurs PID et des capteurs numériques qui rend le système vraiment efficace. Vous pouvez ainsi suivre en temps réel les données thermiques, directement dans votre système MES. C’est vraiment pratique : vous pouvez ainsi observer comment le filament se détériore au fil du temps. Au lieu d’espérer que la lampe ne tombe pas en panne au milieu du processus, le système indique simplement quand elle doit être remplacée. Simple, non ?
Les réalités à prendre en compte
Il y a un compromis à respecter : ces systèmes à infrarouges concentrent une énorme quantité d’énergie dans un espace très restreint. Vous ne pouvez pas simplement les installer dans un cadre existant. La chaleur rayonnée est intense. Si vous ne réglez pas correctement le flux d’air et les systèmes de refroidissement, les composants de l’outil risquent de se déformer. De plus, n’oubliez pas l’installation électrique : il faut utiliser des isolations adéquates pour éviter que les interférences électromagnétiques ne perturbent vos capteurs. Si vos données sont bruitées, votre système “intelligent” n’est en réalité pas très intelligent après tout.