در کارخانه تولید، ویفرهای ۳۰۰ میلیمتری از ریلهای مربوطه خارج شده و روی سطح مناسب برای پخت قرار میگیرند. حتی کمترین تغییر در دما نیز میتواند باعث اختلال در عملکرد فوتورزیست شود؛ در نتیجه، کیفیت CDها نیز تحت تأثیر قرار میگیرد. در چنین شرایطی، همه چیز در معرض خطر قرار میگیرد. لازم است که گرمای لازم دقیقاً در جایی تأمین شود که فرآیند مشخص کرده است؛ هیچ استثنایی وجود ندارد.
از نظر فنی، چه چیزی اهمیت دارد؟
ما در چین قطعات گرمایشی مادونقرمز کوتاهامواج تولید میکنیم؛ این قطعات باعث ایجاد یکپارچگی حرارتی تا سطح زیر میلیمتر میشوند. الکترومغناطیسهای کوارتزی نیز روی بدنههای سرامیکی با جرم حرارتی پایین قرار دارند؛ بنابراین، آنها به سرعت به دمای مورد نظر میرسند، بدون اینکه دما بیش از حد افزایش یابد. ما هدفمان ایجاد یکپارچگی حرارتی در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتیگراد است؛ همچنین، تکرارپذیری عملکرد این دستگاهها نیز کمتر از ۰٫۲ درجه سانتیگراد است.
این میزان یکپارچگی حرارتی، باعث میشود که فرآیندهای پخت در چارچوب دمایی مشخص انجام شوند؛ این امر از سلامت TEOS و اکسیدها محافظت میکند، و همچنین از افزایش تعداد ذرات نیز جلوگیری میکند. همچنین، این دستگاهها سازگار با محیطهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ هستند؛ چرا که از موادی با تولید گاز کم، اتصالات بسته، و سطحی صاف استفاده میشود.
چرا این روش مؤثر است؟
در فرآیندهای لیتوگرافی، خط تولید هرگز متوقف نمیشود؛ گرمایشدهندههای مادونقرمز ما، ویفرها را در دمای مورد نظر نگه میدارند، بدون ایجاد نواحی گرم یا سرد؛ بنابراین، کنترل ابعاد کلیدی و زوایای دیوارههای ویفرها نیز در حد مورد نظر باقی میماند. پاسخ سریع گرمایشی، مدت زمان پخت را کوتاه میکند، مصرف انرژی را کاهش میدهد، و باعث افزایش بازدهی تولید میشود؛ بدون اینکه دمای بالایی ایجاد شود.
عدم تولید هیچ ذرهای در طول فرآیندهای پخت، منجر به کاهش تعداد تغییرات فیلترها، کاهش تعداد شکستها، و افزایش بازدهی تولید میشود. نتیجه این امر، قابلیت پیشبینی است؛ یعنی همان الگوی دمایی برای ویفر شماره ۱ و ویفر شماره ۱۰۰۰، در هر بار تولید، تکرار میشود.
نکاتی که باید در نظر گرفت:
باید گرمایشدهندهها را با ابعاد محفظه و سیستم محکمکننده ویفرها سازگار کرد. باید ولتاژ، جهت اتصالات، و فاصلههای موجود در منطقه گرم را به دقت بررسی کرد. گرمایش مادونقرمز کوتاهامواج، سرعت و کنترل بهتری را فراهم میکند؛ اما عمر الکترومغناطیسها محدود است؛ بنابراین، باید زمان تعویض آنها را در حدود ۵٬۰۰۰ تا ۸٬۰۰۰ ساعت در نظر گرفت، تا از توقف فرآیند تولید جلوگیری شود.
برای دستیابی به بهترین یکپارچگی حرارتی، باید از نقشههای تأییدشده برای کالیبراسیون استفاده کرد؛ همچنین، باید الکترومغناطیسها را تمیز نگه داشت. وجود لایه نازک کوارتزی روی الکترومغناطیسها، میتواند باعث اختلال در الگوی حرارتی شود.