در سالن لیتوگرافی، یک نرمپخت که حتی ۲ درجه سانتیگراد نوسان دارد، بودجه حرارتی فوتورزیست را به هم میزند. میزان نگهداری حلال افزایش مییابد. یکنواختی CD آسیب میبیند. همین اختلاف خط مرز بین محموله سالم و ضایعات است. ما ماژول نرمپخت مادون قرمز خود را برای حذف این نوسان ساختیم.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد
پراب IR از کوارتز موج کوتاه استفاده میکند و سطح ویفر را مستقیماً گرم میکند—بدون تماس مستقیم. کنترل دما ±۰.۱ درجه سانتیگراد روی سطح ویفر حفظ میشود و تکرارپذیری بین محمولهها در محدوده ±۰.۲ درجه سانتیگراد قرار دارد. نمایه حرارتی سریع است: ۱۵ ثانیه برای تثبیت دما، بنابراین زمان پخت کاهش مییابد بدون اینکه دما از نقطه تعیین شده تجاوز کند.
کلاس تمیزی ۱–۱۰۰ اتاق تمیز با طراحی کنترل ذرات حمایت میشود که تولید ذرات را زیر ۰.۱ ذره بر سانتیمتر مربع نگه میدارد. خروجی حرارتی بالایی به نسبت مصرف انرژی دریافت میکنید و ماژول با ابعاد استاندارد مسیرهای حرکتی سازگار بوده و قابلیت اطمینان ۲۴/۷ را دارد.
چرا در محل شما کارآمد است
شما با نودهای مختلف و رزینهای نازک کار میکنید و نرمپخت زمینه را برای عرض دمایی نوردهی و عملکرد نقص فراهم میکند. یکنواختی حرارتی دقیق باعث کاهش ایجاد پا و اسکوم میشود که کنترل ابعاد بحرانی را بهبود داده و نیاز به بازکار کاهش مییابد. افزایش سریع دما زمان چرخه را کوتاه کرده و جریان کاری را هنگام تغییر محمولهها پایدار نگه میدارد.
کاهش نوسانات ناشی از پخت زمان صرفشده برای تنظیم پارامترها را کم و زمان عرضه ویفرهای سالم را افزایش میدهد.
مواردی که باید بدانید
نصب روی اکثر مسیرها ساده است اما مسیر IR باید خط دید مستقیم و پنجره کوارتزی تمیز داشته باشد. هرگونه فیلم یا رسوب انرژی را پراکنده کرده و نمایه حرارتی را منحرف میکند. ماژول همچنین نیازمند منبع تغذیه پایدار و خنککنندهای است که با فضای HVAC اتاق تمیز سازگار باشد.
انتظار یک راهاندازی کوتاه برای تثبیت نقطه تنظیم در لایه رزین خود را داشته باشید. پس از آن، فرآیند در کنترل باقی میماند.