در سالن تولید، تغییر دما در حین پخت فتوماستیك یا ویفر نیمه خشک پس از شستشو، یک موضوع علمی نیست. این ضایعات است. ما لامپهای موج مادون قرمز خود را در 1μm و 2μm ساختهایم تا کنترل حرارتی را درون پنجره فرآیند حفظ کنیم، حتی زمانی که صف تولید انباشته شده و شرایط محیطی در تلاش است تا شما را دچار مشکل کند.
آنچه در زیر سطح اهمیت دارد
این لامپها انرژی NIR هدفمند را در 1μm و 2μm تولید میکنند که با نحوه جذب فیلمهای آب و شیمی پلیمرها در لیتوگرافی و بستهبندی مطابقت دارد. هندسه تابشکننده و طراحی بازتابنده، یکنواختی حرارتی در سطح ویفر را در ±0.1°C فراهم میکند که این امر ابعاد بحرانی را محافظت کرده و پروفایلها را تحت کنترل نگه میدارد.
آنها آماده کلاس تمیز 1–100 هستند و با مواد کمگازده و ساختاری که ذرات را به حداقل میرساند، ساخته شدهاند. تولید صفر ذره در اینجا یک شعار نیست - این یک الزام طراحی سخت است. سیستم بهصورت 24/7 با پروفایلهای ramp قابل تکرار کار میکند و خروجی در بیش از 5,000 ساعت با کمتر از 5% افت، پایدار باقی میماند.
چرا در عمل دوام میآورد
در مراحل خشککردن و شستشو-خشک، انرژی 1μm و 2μm رطوبت باقیمانده را به سرعت از بین میبرد بدون اینکه زیرلایه را بپزد. این بدان معناست که نیاز به بازکاری کمتر و یکپارچگی فیلم تمیزتری داریم.
برای فتوماستیك، همان لامپها پخت نرم و پخت سخت را با تکرارپذیری دمایی دقیق انجام میدهند که زبری لبه خط را بهبود میبخشد و عیوب را کاهش میدهد. در بستهبندی، آنها پخت سریع و یکنواخت را ارائه میدهند که زمان چرخه را کوتاه میکند در حالی که انرژی کمتری مصرف میکند. نتیجه این است که بازده بیشتر، عملکرد قابل پیشبینی و وقفههای تعمیر و نگهداری کمتر است.
آنچه باید برای آن برنامهریزی کنید
این لامپها به یک پروفایل توان اختصاصی و جفتسازی حرارتی دقیق با مرحله هدف نیاز دارند. آنها با بیشتر تجهیزات نیمههادی استاندارد ادغام خواهند شد، اما شما باید تحملهای ادغام را در هنگام نصب تأیید کنید تا از نقاط داغ جلوگیری کرده و یکنواختی اعلام شده را به دست آورید.
برنامهریزی یک دوره راهاندازی کوتاه برای قفل کردن نرخهای ramp و زمانهای استراحت برای فرمولهای دقیق شما ضروری است.