Mantener la superficie de los wafers limpia (y su mente en calma)
Si usted opera en una sala limpia de clase 100, ya conoce ese verdadero infierno. Un pequeño desprendimiento de gases o una partícula que se desprende de una lámpara puede arruinar todo el lote de wafers. Cuando diseñamos reflectores y lámparas de calentamiento para el curado de wafers, nuestro objetivo principal es asegurarnos de que nada pueda afectar esa superficie de silicio.
El secreto está en el cuarzo
Utilizamos cuarzo sintético de alta pureza para estas lámparas. ¿Por qué? Porque el vidrio convencional no puede soportar tanto calor; se agrieta debido al choque térmico. Pero el cuarzo es diferente: funciona como una ventana transparente para los emisores de infrarrojos, permitiendo que la radiación de onda corta pase directamente sin ser absorbida. Para dirigir el calor hacia donde realmente se necesita, combinamos la lámpara con un reflector de cuarzo fabricado con precisión. De esta manera, la energía no se dispersa en el aire, sino que vuelve directamente al wafer. Es eficiente y efectivo.
Evite el efecto “nieve”
Los reflectores metálicos convencionales se desintegran con el tiempo. Se oxidan y, con el paso del tiempo, comienzan a desprenderse fragmentos. En una sala limpia, eso es un desastre. Lo llamamos efecto “nieve”; es lo último que quieres durante un ciclo de curado. Por eso utilizamos reflectores de cuarzo de alta pureza. Son químicamente inertes: no tienen recubrimientos que se puedan pelar ni metales que se puedan oxidar. Simplemente permanecen limpios.
Las compensaciones (lo que nadie te dice)
El proceso de curado por infrarrojos de alta intensidad genera una cantidad enorme de calor. El cuarzo puede manejarlo, pero ¿y el chasis de la lámpara? Eso es otro problema. El chasis absorberá todo ese calor. Si su sistema de enfriamiento no es lo suficientemente eficaz para alejar ese calor de las extremidades de la lámpara, sus conectores se dañarán. Si el flujo de aire es insuficiente, simplemente se acorta la vida útil de la lámpara. Hemos diseñado estos componentes para ser reemplazos fáciles de instalar en los equipos que ya utiliza. Solo tiene que conectarlos y ajustar la distancia con respecto al wafer. Así obtendrá un perfil térmico estable y, lo más importante, cero contaminación.