Ihren Wafer bei der Aushärtung sauber halten – und Ihren Verstand behalten
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie das Problem nur zu gut. Schon ein kleiner Ausstoß von Gasen oder ein Staubkorn, das von einer Lampe abfällt, kann dazu führen, dass die gesamte Charge ruiniert wird. Wenn wir an der Entwicklung von Reflektoren und Heizlampen für die Aushärtung von Wafern arbeiten, haben wir ein klares Ziel: Wir müssen sicherstellen, dass absolut nichts auf die Siliziumoberfläche gelangt.
Das Geheimnis liegt im Quarz
Wir verwenden für diese Lampen hochreinen synthetischen Quarz. Warum? Weil herkömmliches Glas die Hitze einfach nicht aushält – es bricht unter dem thermischen Stress. Doch Quarz ist anders. Er fungiert wie ein klares Fenster für die Infrarotstrahlung – die kurzwelligen Strahlen können ungehindert hindurchdringen, ohne absorbiert zu werden. Um die Wärme genau dorthin zu bringen, wo sie benötigt wird, verwenden wir einen präzise gefertigten Quarzreflektor. So wird die Energie stattdessen direkt auf den Wafer zurückgeworfen. Das ist effizient und funktioniert hervorragend.
Vermeiden Sie das „Schneefallen“-Phänomen
Bei herkömmlichen metallischen Reflektoren kommt es zu Problemen: Sie zerfallen mit der Zeit und oxidieren. Im Reinraum ist das eine Katastrophe. Wir nennen dieses Phänomen „Schneefallen“. Das ist das Letzte, was man während des Aushärtungsprozesses haben möchte. Deshalb verwenden wir hochreine Quarzreflektoren. Sie sind chemisch inert – es gibt keine Beschichtungen, die abplatzen könnten, und kein Metall, das rosten könnte. Der Reflektor bleibt also immer sauber.
Die Kompromisse (Dinge, die Ihnen niemand sagt)
Die hohe Intensität der Infrarotstrahlung erzeugt eine enorme Menge an Wärme. Der Quarz kann das zwar bewältigen – doch Ihr Gehäuse? Das ist eine andere Geschichte. Ihr Gehäuse wird all diese Wärme aufnehmen. Wenn Ihre Kühlvorrichtung nicht stark genug ist, um die Wärme vom Lampenkopf wegzubringen, werden Ihre Anschlüsse beschädigt. Wenn der Luftstrom zu gering ist, verkürzt sich die Lebensdauer der Lampe erheblich.
Wir haben diese Lampen so entworfen, dass sie als einfache Ersatzteile für die bereits vorhandenen Geräte verwendet werden können. Man muss sie nur anschließen und die Entfernung zum Wafer einstellen – dann ist alles bereit. So erhalten Sie eine konstante Wärmestrahlung – und vor allem: keinerlei Kontaminationen.