Přestaňte ztrácet čas čekáním, než se trouba rozehřeje
Ve světě zpracování polovodičů je každá sekunda strávená čekáním v podstatě peníze, které unikají z vaší kapsy.
Mnoho provozoven stále používá systémy s cirkulací horkého vzduchu. Je to staromódní způsob – ohříváte vzduch a poté doufáte, že tento vzduch ohřeje váš výrobek. Je to pomalé a neefektivní.
My to děláme jinak. Používáme infračervené žárovky s zlatými reflektory. Místo manipulace s vzduchem působí infračervené záření přímo na substrát. Je to efektivnější způsob.
Proč zlato?
Většina lidí používá hliníkové reflektory, ale problém je v tom, že hliník pohlcuje příliš mnoho energie. Zlato je jiné – odráží více než 98 % této infračervené záření. Tím se teplo přeměňuje na úzký, zaměřený paprsek. Díky tomu dostanete mnohem vyšší hustotu tepla přímo tam, kde ji potřebujete – na waferu – aniž byste museli zvyšovat náklady na elektřinu.
Problém zpoždění
Pokud jste někdy používali systém s cirkulací horkého vzduchu, znáte frustraci spojenou s termickou inertností. Změníte nastavení teploty a poté… čekáte. Čekáte, než se celá komora přizpůsobí. Je to zdlouhavé.
Infračervené žárovky takový problém nemají. Zpoždění je téměř nulové. Stačí zapnout vypínač a za sekundy dosáhnete požadované teploty. To výrazně zkracuje dobu procesu a ušetří spoustu prostoru v provozovně.
Nevýhody (protože vždycky nějaké jsou)
Nebudu vám říkat, že se jedná o magický prostředek pro všechny situace. Vysokointenzitní infračervené záření je sice mocné, ale musíte být opatrní. Protože tyto zlaté reflektory tak dobře soustředí teplo, můžete omylem vytvořit „horká místa“, pokud není vzdálenost správná. Nemůžete prostě jednat na oslavu. Upevňovací prvky musí být přesné, až do milimetru. Příliš blízko a výrobek se spálí. Příliš daleko a všechno začíná znovu od začátku.
Abychom zajistili bezpečnost, obvykle kombinujeme tento systém s PID regulátorem a senzory s rychlou odezvou. To zabrání překročení teploty, takže neriskujete poškození substrátu, přičemž stále dosahujete velmi vysoké rychlosti.