على خط 300mm، عملية ترقيق الرقائق مباشرة قبل التقطيع هي النقطة التي يتحول فيها الإجهاد الحراري إلى خسارة في العائد. سخان الدعم الذي ينحرف أو يسبب ارتفاعات مفاجئة في درجة الحرارة أثناء الطحن الخلفي قد يؤدي إلى تشقق الرقائق الرقيقة وتكوين شقوق دقيقة تظهر لاحقاً كعيوب. قمنا بتصميم سخان دعم الطحن الخلفي للتخلص من هذا الارتباك والحفاظ على حرارة مستقرة ومتجانسة في المنطقة التي يكون فيها الركيزة أكثر عرضة.
المكون الأساسي هو مصفوفة انبعاث كوارتز بالأشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة، مضبوطة للتسخين السريع والمحلي مع تجانس درجة حرارة على مستوى الرقاقة ±0.1°C. تكرار درجة الحرارة يحافظ على ±0.5°C عبر التغيرات في الورديات وعبر عمر المصباح، مما يضمن بقاء الميزانية الحرارية ضمن المواصفات لكل رقاقة. المنطقة الساخنة معزولة عن المسرح الميكانيكي، لذا يبقى توليد الجسيمات قريباً جداً من الصفر.
التصنيف النظافة يتوافق مع غرفة نظيفة من الفئة Class 1–100، وكل سطح في مسار الحرارة محدد لتقليل انبعاث الغازات وتساقط الجسيمات.
في الطحن الخلفي، تحتاج إلى حرارة لتخفيف الإجهاد والحفاظ على الالتصاق، دون تليين الطبقة الحساسة أو تلف أغشية الواجهة الخلفية. السخان يصل إلى نقطة الضبط في ثوانٍ، يحافظ على درجة حرارة مستقرة تحت أحمال مغزل متغيرة، ويعمل 24/7 بدون توقف غير مخطط له. النتيجة هي تقليل تشققات الحواف، تقليل الخردة، وتحكم في السماكة يبقى ثابتاً عبر الدفعة.
عملية التركيب تعتمد على مطابقة أبعاد واجهة الشوك والحامل. تتوفر مجموعات تعديل لأنظمة شائعة، لكن تسامحات المحاذاة ضيقة. خصص فترة تأهيل قصيرة لضبط ملف PID لطبقة الأغشية ودورة عمل المغزل الخاصة بك.
بمجرد المعايرة، تفتح نافذة العملية وتبقى مفتوحة.