على أرضية الطباعة الحجرية
تغيير حتى 2°C في عملية الخَبز الناعم يؤثر على الميزانية الحرارية للـ photoresist. احتباس المذيب يرتفع. توحيد الأبعاد الحرجة (CD) يتأثر. هذا الفرق هو الفاصل بين دفعة جيدة وخردة. قمنا بتصميم وحدة الخَبز الناعم بالأشعة تحت الحمراء لإزالة هذه المتغيرات من العملية.
ما يهم تقنيًا
يبث جهاز الانبعاث بالأشعة تحت الحمراء موجات قصيرة من الكوارتز، حيث يقوم بتسخين سطح الرقاقة مباشرةً دون تلامس. يتحكم نظام درجة الحرارة بدقة ±0.1°C عبر كامل الرقاقة، مع قدرة تكرارية ضمن ±0.2°C بين الدفعات. الملف الحراري سريع: يستغرق 15 ثانية لتحقيق الاستقرار، مما يقلل من وقت الخَبز بدون تجاوز الدرجة المحددة.
يدعم التصميم الفئة النظيفة Class 1–100 من خلال تحكم محكم في الجسيمات، حيث يبقي توليد الجسيمات أقل من 0.1 جسيم/cm². ينتج الوحدة كمية حرارية عالية بالنسبة للطاقة المستهلكة، وتتوافق الوحدة مع الأبعاد القياسية لمعدات المسار مع موثوقية تشغيل 24/7.
لماذا ينجح في الموقع الذي تستخدمه فيه
يتم تشغيل عُقد مختلطة ومقاومات رقيقة، حيث يهيئ الخَبز الناعم الظروف الملائمة لاتساع التعرض وجودة الأداء من حيث العيوب. التوحيد الحراري الضيق يقلل من تكوين الطبقة السفلى (footing) والرواسب غير المرغوبة (scum)، مما يحسن التحكم في الأبعاد الحرجة ويقلل من الحاجة لإعادة العمل. الزيادة السريعة في درجة الحرارة تقصر زمن الدورة وتحافظ على ثبات الإنتاجية أثناء تبديل الدفعات.
قلة الانحرافات المرتبطة بعملية الخَبز تعني وقتًا أقل لملاحقة معايير العملية ووقتًا أكثر لإصدار رقائق جيدة.
أمور يجب معرفتها
التركيب بسيط على معظم المسارات، لكن مسار الأشعة تحت الحمراء يحتاج إلى خط رؤية واضح ونافذة كوارتز نظيفة. أي طبقة رقيقة أو بقايا تشتت الطاقة وتشوّه الملف الحراري. كما تتطلب الوحدة مصدر طاقة مستقر ونظام تبريد يتوافق مع نظام تكييف الهواء لغرفة التنظيف.
توقع عملية تجهيز قصيرة لتثبيت نقطة الضبط لطبقة المقاومة الخاصة بك. بمجرد إنجاز ذلك، تبقى العملية تحت السيطرة.